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成功研制太赫兹超导探测器平台并实现稳定运行 太赫兹波段是继红外和毫米波之后最新发展的、其它波段不可替代的观测窗 口，在当代天文学前沿研究领域－宇宙生命环境和高红移早期宇宙研究中具有特 别重要的作用。在太赫兹波段的宇宙学和天体物理观测研究中，低温超导探测器 由于具有无可比拟的超高灵敏度，正发挥越来越重要的作用。位于南极的美国 BICEP2 望远镜正是采用了超导探测器，使探测效率大幅提高，首次实现“大爆炸” 引力波探测。 中科院紫金山天文台毫米波和亚毫米波技术实验室于 2012 年成功研制太赫 兹超导探测器平台，实现了太赫兹超导探测器芯片的自主制备，进而具备了从太 赫兹超导探测器设计、芯片制备到系统集成的完整能力。太赫兹超导探测器平台 包括超导及金属薄膜磁控溅射系统、绝缘层磁控溅射系统以及掩膜对准光刻机等 核心装置，自 2012 年通过验收以来，优化了超导薄膜及芯片制备工艺，实现了 近两年的稳定运行。目前，该平台已能制备高质量的 Nb、Ti、Al 等低温超导薄 膜，超导 SIS 混频器、超导 TES 探测器以及超导 MKIDs 探测器等芯片。太赫兹 超导探测器平台的成功研制为国家基金委重大科研仪器研制专项、南极天文台太 赫兹望远镜计划、以及载人航天工程 2 米多功能光学设施的太赫兹模块等打下关 键技术基础。 图 1，太赫兹超导探测器平台（左） 、制备超导隧道 结芯片（右上）和不同面积 Nb 超导隧道结 I-V 特性 （右下,与国际同类芯片性能相当） 。